4月11日,江蘇南京南智先進光電集成技術研究院(以下簡稱“南智光電”)鈮酸鋰光子芯片產線啟動儀式在新區舉行。
該項目配備3.5億元規模設備、5000m2超凈間,覆蓋了整個產業鏈的核心工藝,月產能一千片晶圓。本次啟用的產線具備了光刻、刻蝕、鍍膜、研拋、濕法等系列核心技術工藝,這意味著國內薄膜鈮酸鋰光子芯片產業化取得重要進展。
據了解,2018年,在南京大學和南京江北新區支持下,現中國科學院院士、江蘇省光電技術創新中心主任祝世寧帶領團隊在新區產業技術研創園落地南智光電,并負責建設運營光電公共技術平臺,瞄準下一代光電芯片技術在基礎材料、器件工藝等方面的需求,開展研發工作。
今年初,南智光電啟動平臺二期建設,目前二期平臺已經具備一定量產能力,月前才剛剛下線一批8英寸生物基因檢測芯片,相關性能指標全部符合客戶定制要求。祝世寧表示,未來以鈮酸鋰光子芯片產線為基礎,南智光電將能夠面向國內外光電企業提供芯片研發及流片支持。